不用光刻机也能造芯片,佳能推出5nm芯片生产设备

不用光刻机也能造芯片,佳能推出5nm芯片生产设备

佳能(Canon)公司近日发布新闻稿,开始销售芯片生产设备 FPA-1200NZ2C,表示采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造 5 nm芯片。佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同,并非光刻,而更类似于印刷,没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。这套设备可以应用于最小 14 平方毫米的硅晶圆,从而可以生产相当于 5nm 工艺的芯片。佳能表示会继续改进和发展

非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备

非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备

IT之家 10 月 14 日消息,佳能(Canon)公司近日发布新闻稿,开始销售芯片生产设备 FPA-1200NZ2C,表示采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造 5 nm 芯片。佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同,并非光刻,而更类似于印刷,没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。这套设备可以应用于最小 14 平方毫米的硅晶圆,从而可以生产相当于 5nm